歡迎光顧金蒙新材料官方網(wǎng)站!

金蒙新材料

金蒙新材料
國家高新技術(shù)企業(yè)
服務(wù)熱線(xiàn):
4001149319
碳化硅
當前位置:首頁(yè) » 金蒙資訊 » 金蒙新材料百科 » 碳化硅陶瓷反應連接技術(shù)

碳化硅陶瓷反應連接技術(shù)

文章出處:粉體圈網(wǎng)責任編輯:作者:小吉人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-08-22 17:23:00【

全封閉、中空部件的制備一般采用連接工藝獲得,目前常用的陶瓷連接方法主要有釬焊、擴散焊等,但這些方法均存在工藝復雜、焊接料性能同碳化硅基體差別大等缺點(diǎn),難以滿(mǎn)足光刻機等集成電路制造裝備對復雜結構部件的使用要求。

根據反應燒結碳化硅的工藝特點(diǎn),將待粘接零部件進(jìn)行預處理,并通過(guò)粘接料對制品進(jìn)行粘接,隨后再進(jìn)行反應燒結,使制品的連接與反應燒結同步完成。通過(guò)調節粘接料的組分、控制連接工藝,可實(shí)現復雜結構部件的致密、高強度、無(wú)縫隙粘接。

相關(guān)資訊